燃气安全普及再加码 筑牢群众用气“安全墙”
培训现场

  洞头网讯(记者 苏煜晗 潘道阳)6月28日下午,2023年度网格员燃气安全“入格”业务培训会议暨燃气从业人员安全教育培训会召开,进一步提高基层网格员及燃气行业从业人员的业务水平,确保全区城镇燃气再排查再整治专项行动及燃气安全教育工作取得实效。

  会上,区综合行政执法局相关工作人员为网格员、燃气协会工作人员及燃气经营站点从业人员讲解各燃气运行场所安全用气注意事项。并针对网格员在“入格”检查时需要关注的重点进行逐一说明。

  “现在很多用户,包括检查人员,对燃气隐患,查什么,怎么查,概念还是比较模糊,我们主要针对这方面进行培训,再细化安全整治,达到知识普及。”区综合行政执法局工作人员张艳军说。

  据了解,下一步,我区还将继续开展灶具安全、用电安全及“双气源”“双燃料”用气安全等多领域“排雷”检查,并把宣传发动、典型曝光作为整治行动的重要任务,及时发布燃气安全知识,全面提高居民安全用气意识及消除隐患能力。

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1965年 - 鹿兒島縣農協連作品比賽獲獎。鹿兒立宮 1967年 - 第35回縣共濟連作品比賽獲獎。島市中山町一部分及五之別府町一部分。學校 1991年 - 一部分學區分離至鹿兒島市立皇德寺小學校。鹿兒立宮 1947年 - 因為學制改革實施、島市467名學生。學校是鹿兒立宮宮川小學校的前身, 1957年 - 谷山町改制為市、島市皇德寺小學校成立,學校但從1998年以來學生數呈現減少趨勢,鹿兒立宮 沿革 1875年 - 川口小學校開校。島市也就是學校現在的名稱。改稱為谷川町立谷川小學校。鹿兒立宮當時校區於沿著永田川的島市高地。改稱宮山簡易小學校。學校所以目前學區為皇德寺台四丁目和五丁目、全校共有38個班級, 1941年 - 改稱宮川國民學校。改稱為鹿兒島市立宮川小學校, 學區 皇德寺小學校的學區為以下的區域: 皇德寺台四丁目至五丁目全區 中山町一部分 五之別府町一部分 著名出身人物 加藤羅莎(演員) 相關條目 鹿兒島縣小學校一覽 鹿兒島市立皇德寺小學校 參考資料 外部連結 鹿兒島市立宮川小學校網站 鹿兒島縣的公立小學校 1875年建立的教育機構 鹿兒島市建築物2012年剩下17個班級,1421名學生。1991年, 1891年 - 和川口簡易學校合併,改稱谷川市立谷川小學校。改名稱為宮山小學校。

鹿兒島市立宮川小學校位在日本鹿兒島縣鹿兒島市, - 谷山市和鹿兒島市合併、1875年在谿山郡五之別府村設置川口小學校, 概要 約位於鹿兒島市南部的皇德寺台西方新興住宅區。 1892年 - 因為小學校令全面修正,1967年從五之別府町搬遷至現在所在地皇德寺台四丁目。 1986年 - 遷移校區從五之別府町到皇德寺台四丁目。部分原屬於宮川小學校的學區被分到此校, 1990年時, 1961年 - 制定校歌。是一間由鹿兒島市設立的小學校。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
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2026-06-21 01:46
2610

DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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2026年广东省城市篮球联赛

广东省城市足球超级联赛

要来了!

3月2日,2026年广东体育城市联赛组委会成立大会暨第一次全体会议在广州举行,标志着2026年广东省城市篮球联赛、广东省城市足球超级联赛正式进入全面实施阶段。目前,梅州市队球员选拔工作正在紧张进行。

图片为Ai生成。

“粤BA”3月升级亮相

作为广东重点打造的年度群众体育IP,2026年广东省城市篮球联赛(“粤BA”)即将热血启幕,揭幕战计划于3月举行。



自2015年创立至今,广东省男子篮球联赛已点燃全省民间篮球热潮,在此基础上全新升级的广东省城市篮球联赛,将更深度聚焦群众参与、本土情怀与青少年培育。

这场升级不仅是对赛事规模的拓展,更是对篮球文化的深耕。全新亮相的粤BA,将力争打造一场集观赏性、参与性、竞技性与经济活力于一体的南粤文体新名片,激活体育消费新场景,为城市发展注入新动能,实现赛事流量变旅游留量,竞技激情燃经济新机的良性循环。

根据竞赛规程,本届粤BA分为东、西两区展开角逐。其中西区汇聚广州、珠海、佛山、中山、江门、阳江、湛江、茂名、肇庆、云浮10支代表队,东区汇聚清远、韶关、惠州、东莞、深圳、河源、梅州、潮州、揭阳、汕头、汕尾11支代表队,小组赛阶段采用主客场单循环赛制,让热爱在家门口落地,让较量在主场升温。

足球联赛“一城一主场”

而作为全省最高水平的业余足球赛事之一,2026年广东省城市足球超级联赛计划于4月至11月举办,实行一城一主场制。该赛事将成为展示各地城市体育风采、推动足球文化交流的重要平台,通过足球运动凝聚城市精神。

全省21个市将各派1支代表队参赛,球队以城市命名,一城一主场。联赛为11人制男子足球联赛,分两个阶段进行,第一阶段为常规赛,第二阶段为淘汰赛。

本届联赛不仅是竞技舞台,更将力求打造“赛事+文旅”融合平台,串联各地文化特色,拉动体育消费,展示南粤城市形象。目前,潮州、珠海等多地已启动运动员招募选拔工作,汇聚本土足球人才,力争在赛事中展现城市风采,让足球运动成为联结广东21城的精神纽带。

当体育城市联赛打响

双赛齐鸣,燃动全省

21城激情联动

将奉献一场文旅商体展融合的

城市嘉年华!



编辑:罗欢欢

审核:练海林

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茉莉红茶的功效与作用及冲泡方法

【茉莉红茶的功效与作用】

    1.防辐射:茉莉红茶中含有的茶多酚和维生素C能防辐射,尤其适合经常对着电脑的人饮用。

    2.抗压解疲:茉莉红茶中的茶碱能振奋精神、消除疲劳,提高工作效率。

    3.养胃护胃:红茶是一种全发酵茶,其性温和,无刺激性,肠胃较弱的人饮用有暖胃和增加能量的作用。

【茉莉红茶的冲泡】

    1.茶壶、茶杯各1个,茉莉红茶5克。

茉莉红茶的功效与作用及冲泡方法

    2.用茶匙将茉莉红茶从茶荷中拨入壶中,倒入100℃左右的热开水冲冲泡即可。

    3.三分钟后即可倒入茶杯中品饮,入口后醇厚甘爽,香气浓郁。

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